Home > Instruments 엘립소메트리 기기명(한글): 엘립소메트리 기기명(영어): AutoEL-II, automatic ellipometer 모델번호: AE23-48 제조국: USA 제조회사: Rudolph Technologies, Inc. 구입연도: 2005.8 담당자 김일홍 동작원리 Ellipsometry는 균일한 박막의 두께와 굴절률 (refractive index)을 측정하는 광학적 방법이다. 평면편광 (plane-polarized light)이 표면과 일정한 각도로 조사되었을 때, 편광은 표면에 대한 평행성분 (parallel component)인 p-편광과 수직성분 (perpendicular component)인 s-편광의 두 성분으로 분리될 수 있다. 이러한 두 성분은 표면과 각기 다른 정도로 상호작용을 하므로, 반사 후에는 두 성분의 상과 진폭이 서로 다르게 변하게 된다. 반사 후의 p-편광과 s-편광이 합쳐지면 타원형편광(elliptically polarized light)을 형성하게 된다. 따라서 전체적으로 합쳐진 빛의 파장과 편극이 변하게 되는 것이다. Ellipsometry는 이와 같은 현상을 p-편광과 s-편광의 반사 계수인 γp와 γs사이의 비율을 측정함으로써 표면과 공기 사이의 전이범위 (transition region)의 두께를 측정하는 방법이다. 측정된 γp와 γs 는 아래와 같은 식에 의해서 psi(Ψ) 와 delta(Δ)로 표현된다. ρ= γp/γs = tan(Ψ)eiΔ Ellipsometry는 편광된 빛을 사용하여 표면이나 박막의 두께 및 굴절률과 소광계수 측정하는데, 반사되어 나오는 편광의 상대적인 상 변화로부터 이러한 값들을 측정하기 때문에 보통의 반사측정 장치 (reflection measure)보다 감도 (sensitivity)가 뛰어나다. 모든 파장의 빛을 쪼여 주는 분광학적 측정법 (spectroscopic measurement)과 입사각에 변화를 줄 수 있는 장치의 결합은 박막 표면으로부터 더 많은 데이터를 얻게 해 주고, 박막의 두께나 광학적 상수와 같은 변수를 결정하는데 가장 적합한 spectral acquisition range와 입사각을 사용할 수 있게 된다. 결과적으로 입사각을 변화시킬 수 있는 분광학적 ellipsometer는 다양한 종류의 분자 층을 측정할 수 있다는 장점이 있으므로, 하나의 입사각을 가지고 측정을 하는 ellipsometer나 단파장의 ellipsometer로는 측정할 수 없는 복잡한 구조의 분자 층을 측정하는데 매우 유용하다. 장비성능 - Microspot optics : - Single wavelength : 632.8 nm - Adjustable angle : 60°, 70°, 80°, 90° - Accuracy of DELTA : 0.1 degree - Accuracy of PSI : 0.05 degree - X-Y sample stage 용도 - 유기 및 금속 박막의 두께 및 굴절률 측정