±¤ÇÐ ³ª³ëÇö¹Ì°æ (Near-Field Scanning Optical Microscope: NSOM)

Çö¹Ì°æÀº ´«À¸·Î ½Äº°Çϱ⠾î·Á¿î ÀÛÀº ±¸Á¶¹°ÀÇ ¿µ»óÀ» ¾ò´Â ÀåÄ¡ÀÌ´Ù.  ÀÌ Áß ±¤ÇÐÇö¹Ì°æÀº ºûÀÇ ±¼ÀýÀ» ÀÌ¿ëÇÏ´Â ¹æ¹ýÀ¸·Î ½Ã·á¿¡ ¼Õ»óÀ» ÁÖÁö ¾Ê°í, ¼Óµµ°¡ ºü¸£¸ç, ºñ¿ëÀÌ Àû°Ôµé°í, »ç¿ëÀÌ ¿ëÀÌÇϰí, ´Ù¾çÇÑ ½Ã·á¿¡ Àû¿ë°¡´ÉÇϰí, ¿©·¯ °¡Áö ´ëÁ¶±âÀÛ(contrast mechanism)À¸·Î ´Ù¾çÇÑ Á¤º¸¸¦ ¾òÀ» ¼ö ÀÖ´Ù´Â µîÀÇ ¸¹Àº ÀåÁ¡ÀÌ ÀÖ¾î »ý¹°ÇÐÀ̳ª Àç·á°úÇÐ µî ¿©·¯ °úÇко߿¡¼­ °¡Àå ¸¹ÀÌ »ç¿ëµÇ°í ÀÖ´Ù. ±×·¯³ª ÇØ»óµµ°¡ ȸÀý¿¡ ÀÇÇØ  Á¦ÇѵǾî ÀÖ¾î ÇØ»óµµÀÇ ÇѰ踦 ±Øº¹ÇϱâÀ§ÇÑ ¹æ¹ýÀ¸·Î,ÀüÀÚÇö¹Ì°æÀ̳ª X-¼± Çö¹Ì°æ ¶Ç´Â ŽħÁÖ»çÇö¹Ì°æ(Scanning probe microscopy)¿¡ ´ëÇÑ ¿¬±¸°¡ ÀÌ·ç¾îÁö°í ÀÖ´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ ¹æ¹ýµéÀº ±¤ÇÐÇö¹Ì°æ°ú ºñ±³ÇÏ¿© ³ôÀº ÇØ»ó·ÂÀ» °¡Áö°í ÀÖÁö¸¸ ±¤ÇÐÇö¹Ì°æÀÇ ¿©·¯ °¡Áö ÀåÁ¡À» Áö´Ï°í ÀÖÁö ¾Ê¾Æ, ÇØ»óµµ°¡ ³ôÀ¸¸é¼­ ±¤ÇÐÇö¹Ì°æÀÇ ÀåÁ¡À» Áö´Ñ Çö¹Ì°æÀÇ °³¹ßÀÌ ¿ä±¸µÇ¾ú´Ù.  ºûÀÇ ÆÄÀ庸´Ù ÀÛÀº Å©±âÀÇ aperture¿¡ ºûÀ» Åë°ú½Ã۸é apperture °¡±îÀÌ¿¡ ³õÀÎ ½Ã·áÀÇ ºÎºÐ¿¡ ´ëÇÑ Á¤º¸¸¦ ÆÄÀå ÀÌÇÏÀÇ ÇØ»óµµ·Î ¾òÀ» ¼ö Àִµ¥, ±¤ÇÐ ³ª³ëÇö¹Ì°æ(near-field scanning microscopy; NSOM)Àº À̸¦ ÀÌ¿ëÇÏ¿© ¼ö½Ê nm Å©±âÀÇ °³±¸¸¦ °®´Â Žħ¿¡ ºûÀ» Åë°ú½Ã۱⠶§¹®¿¡ ½Ã·á Ç¥¸é¿¡ ´ëÇÑ ºûÀÇ È¸ÀýÇѰè ÀÌ»óÀÇ °íºÐÇØ´É°ú ÇÔ²² ´Ù¾çÇÑ ±¤ÇÐÀû Á¤º¸¸¦ µ¶¸³ÀûÀ¸·Î µ¿½Ã¿¡ ¾ò´Â´Ù.  º» ¿¬±¸½Ç¿¡¼­´Â ±¤ÇÐ ³ª³ëÇö¹Ì°æÀ» Á÷Á¢ Á¦ÀÛÇÏ¿´À¸¸ç, ±¤¼¶À¯ Žħ Á¦ÀÛÀ» À§ÇØ optical fuber puller ¿Í aluminum evaporator¸¦ Á¦ÀÛÇÏ¿´´Ù. ¼±ÅÃÀûÀÎ Âø»öÀ̳ª Çü±¤ºÐÀÚ¸¦ ºÙÈûÀ¸·Î »ýü½Ã·á³ª ¹Ú¸·ÀÇ Æ¯¼º ¿¬±¸¸¦ ¼öÇàÇÒ °èȹÀÌ´Ù.

³ª³ëÇö¹Ì°æ

 

Probes are prepared by pulling optical fibers (taper length 0.5 mm)


 

Angled deposition of aluminum onto the tapered region (aperture diameter 150 nm)

 

Topography of CD-ROM Surface